商品説明

Name: 基板ホルダー（４インチシリコンウェハーベース）
SKU: SAH0001
Price: 46200 JPY
Availability: InStock

◆結晶成長や、光学薄膜実験に！便利な基板ホルダーです◆
４インチのシリコンウェハーにザグリ加工を施し、
実験用の基板を乗せることができるようにした、
特性の基板ホルダーです。

プラズマエッチング装置やイオンエッチング装置、
各種実験などで基板を乗せた状態で
４インチのシリコンウェハーとして扱うことができます。

結晶成長・光学薄膜などの研究者様の声をもとに
生まれたアイデア商品！ぜひ試してみませんか？

製品名：
　基板ホルダー（４インチシリコンウェハーベース）

①ベースウェアハー
　　シリコンウェハー　φ100×0.525（ｍｍ）
　　グレード、型などその他仕様は不問とします

②ザグリ部分
　　□10mmの基板を乗せることができるようになっています
　　ザグリ部サイズ　10.5mm×10.5mm×深さ0.3mm

例えばラボマイスターで取り扱いの下記基板がフィットします
　　●合成石英基板 Labo-USQ □10×0.3(mm)
　　●サファイア基板　Labo-Sapphire □10×10×0.3ｔ(mm）
　　●炭化珪素基板 Labo-SiC　□10×10×0.35ｔ（mm）
　　など

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価格:42,000円(税込 46,200円)

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