商品説明

パワーLSI用、高輝度LED用など様々な実験に使用できる低価格テストグレード SiC基板です

■製品名	炭化珪素基板 Labo-SiC
■サイズ	□10×10×0.35ｔ（mm）
■数量	5枚

【特徴】
テスト用基板として使いやすい、低価格／短納期のSiC(シリコンカーバイド)基板です
SiCウェハーサイズだと大きすぎる実験の場合に最適な10mm角SiCです
　・4H-Nタイプ
　・マイクロパイプ数　：　≤ 15 cm-2　（テストグレード）
　・Si面：CMP仕上げ
　・C面：光学鏡面仕上げ(ミラー）
　
※マイクロパイプとは
　…直径１～10umの大きく中空状の結晶欠陥。
　　らせん転位（刃状転位における原子配列のずれから、結晶内の原子がずれた転位）の1種です
　　転移方向はC軸<0001>に平行となります。
※テストグレードとは
　…製品グレードよりマイクロパイプ数の多いグレード（ダミーグレードとも）です
　　製品グレード（マイクロパイプ数 ≤ 0.5 cm-2）での製作もカスタマイズにてお受けします

【ご利用ユーザー例】
　・大学・研究機関
　・LSI製造
　・センサ・MEMS製造
　・自動車製造
　・電力
　・LED製造
　・製薬
　・半導体用装置製造

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価格:21,000円(税込 23,100円)

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