「PLAZMARKⓇ」は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール（インジケータ）です。
本商品は装置内に置いてプラズマ処理するだけで、処理効果を可視化できます。
安価で簡便に工程のバラツキや面内分布を評価でき、生産性や歩留まりの向上に役立ちます。
●製品名：プラズマインジケータ PLAZMARK® 耐熱性 ラベル型（貼付可能） №101（高感度） 10枚入
[略号：PLL0203-101]
色材に無機材質、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型で
ありながら高い耐熱性（200℃）を実現。
フレキシブル性、接着性がありますので、基盤表面や装置内に自由に貼り
付け評価できます。
【仕様】
| ■対応ガス（プラズマ種） | Ar・O₂・H₂・CF₄・SF₆・Cｌ₂ |
| ■感度 | №101（高感度） |
| ■使用形態（形状） | ラベル型（貼付可能） |
| ■耐熱性 | 200℃ |
| ■構成 | 本体：ポリイミド
| 検知部：無機色材、レジン |
| ■サイズ | 本体：16mm×25mm×80μm
| 検知部：Φ10ｍｍ |
【各種プラズマに対する変色性】
※プラズマインジケータ、Plasma Indicator、PLAZMARKは㈱サクラクレパスの商標または登録商標です。
PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で登録商標を受けています。
