「PLAZMARKⓇ」は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール（インジケータ）です。
本商品は装置内に置いてプラズマ処理するだけで、処理効果を可視化できます。
安価で簡便に工程のバラツキや面内分布を評価でき、生産性や歩留まりの向上に役立ちます。
●製品名：プラズマインジケータ PLAZMARK® O₂クリーニング用 NO.3(低感度） シート型 （5枚入）
[略号：PLC2130-03]
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。（Arプラズマでも変色する場合があります）
Ｏ₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
【用途】
・めっき前の表面改質
・ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質
・部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
・ＬＳＩ、メモリ、ＭＥＭＳ、ＬＥＤ等電子デバイスの封止前のクリーニング
【仕様】
| ■対応ガス（プラズマ種） | O₂をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
（O₂、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃（Aｒ）） |
| ■感度 | №3（低感度） |
| ■使用形態（形状） | シート型 |
| ■耐熱性 | 100℃ |
| ■構成 | 本体：ＰＥＴフィルム / 検知部：有機色材、レジン |
| ■サイズ | 本体：A4サイズ（210×297×0.2mm）
検知部：190×290mm |
【色の変化写真】
【変色性能】
※プラズマインジケータ、Plasma Indicator、PLAZMARKは㈱サクラクレパスの商標または登録商標です。
PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で登録商標を受けています。
