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パワーLSI用、高輝度LED用など様々な実験に使用できる低価格テストグレード SiC基板です
■製品名 炭化珪素基板 Labo-SiC ■サイズ □10×10×0.35ｔ（mm） ■数量 5枚
【特徴】
テスト用基板として使いやすい、低価格／短納期のSiC(シリコンカーバイド)基板です
SiCウェハーサイズだと大きすぎる実験の場合に最適な10mm角SiCです
・4H-Nタイプ
・マイクロパイプ数 ： ≤ 15 cm-2 （テストグレード）
・Si面：CMP仕上げ
・C面：光学鏡面仕上げ(ミラー）
※マイクロパイプとは
…直径１～10umの大きく中空状の結晶欠陥。
らせん転位（刃状転位における原子配列のずれから、結晶内の原子がずれた転位）の1種です
転移方向はC軸<0001>に平行となります。
※テストグレードとは
…製品グレードよりマイクロパイプ数の多いグレード（ダミーグレードとも）です
製品グレード（マイクロパイプ数 ≤ 0.5 cm-2）での製作もカスタマイズにてお受けします
【ご利用ユーザー例】
・大学・研究機関
・LSI製造
・センサ・MEMS製造
・自動車製造
・電力
・LED製造
・製薬
・半導体用装置製造
