「PLAZMARKⓇ」は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール（インジケータ）です。


●ウェハ全面に変色色材を成膜したタイプです。
●放出ガスを低減し、清浄性を高めています。
●ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。

●製品名：プラズマインジケータ　PLAZMARK®　ウエハ型(Vノッチ、シリコン)　メタルフリータイプ　φ200mm（1枚入り）
　[略号：PLW200SI-MF]

●評価システム
変色の結果は専用の『プラズマインジケータ評価システム』で簡単に数値管理することが可能です。
目視では確認の困難な軽微な差も認識。マッピングにより直感的に面内均一性を評価できます。

●メタルフリータイプは、金属を極限まで排除。より高次の清浄性をめざします。
●シリコン半導体の工程など、クリーンなプロセスに適しています。


【仕様】　
■対応ガス（プラズマ種）　　　　 O₂, CF₄, Ar, SF₆, etc.
■感度　　　　　　　　　　　　　 1種類
■形状　　　　　　　　　　　　　 ウエハ(Vノッチ)
■耐熱性　　　　　　　　　　　　 250℃
■構成　　　　　　　　　　　　　 基板：シリコン / 検知部：有機色材、レジン
■サイズ　　　　　　　　　　　　 本体：φ200mm / 膜厚：30㎛
　　　　　　　　　　　 　　　　　

変色の結果は専用の『プラズマインジケータ評価システム』で簡単に数値管理することが可能です。
目視では確認の困難な軽微な差も認識。マッピングにより直感的に面内均一性を評価できます。
簡単にしかも短時間で結果が得られます。



Arガスによる変色例と自動マッピングシステムによる面内分布評価例

※プラズマインジケータ、Plasma Indicator、PLAZMARKは㈱サクラクレパスの商標または登録商標です。
　PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で登録商標を受けています。